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日立S3000N扫描电子显微镜

中国地质科学院地质研究所

仪器简介:

英文名称:Scanning Electron Microscope(SEM)
定义1:用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。
定义2:应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射 线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁 场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微 观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

主要功能及应用:

功能:二次电子成像、背散射电子成像、阴极发光照相
应用:样品外形貌、背散射分析,锆石等矿物的阴极发光照相
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锆石阴极发光

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二次电子图像

设备照片:

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日立S3000N仪器照片

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日立S3000仪器结构图

仪器的主要特性:

二次电子分辨率:小于3.5nm(30kV,高真空)、小于10nm(3kV,低真空),背散射电子分辨率:小于5.0nm(30kV,低真空);
放大倍数:20倍~300000倍;
真空度:高真空≤1Pa,低真空:6~270Pa;
加速电压:0.5~30kV,连续可调;
图片存储:640×480~5120×3840pixels多种规格。

仪器的主要附件:

背散射探头(Robinson Detector)
阴极发光探头(ChromaCL)

设备基本信息:

仪器名称 扫描电子显微镜
仪器型号 制造商 产地 购买年份 原值万元 联系人 联系电话 是否对外开放 可对外开放时间
S3000N Hitach 日本 2005 100 杨老师 010-56833666 100%
安放地点 所在实验室 实验室地址 实验室类型
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高清成像:50元/张
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